Super röntgenový merač plošnej hustoty
Princípy merania
Keď lúč ožiari elektródu, lúč sa ňou absorbuje, odráža a rozptyľuje, čo vedie k určitému útlmu intenzity lúča po prechádzajúcej elektróde v porovnaní s intenzitou dopadajúceho lúča a jeho pomer útlmu je negatívne exponenciálny s hmotnosťou alebo plošnou hustotou elektródy.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Počiatočná intenzita lúča
I: Intenzita lúča po prechode elektródy
λ: Absorpčný koeficient meraného objektu
m: Hrúbka/plošná hustota meraného objektu
Hlavné prvky vybavenia
Porovnanie merania polovodičových senzorov a laserových senzorov
● Meranie detailných obrysov a prvkov: meranie obrysov plošnej hustoty s milimetrovým priestorovým rozlíšením s vysokou rýchlosťou a vysokou presnosťou (60 m/min)
● Ultraširkové meranie: prispôsobiteľné pre šírku náteru viac ako 1600 mm.
● Ultrarýchle skenovanie: nastaviteľná rýchlosť skenovania 0 – 60 m/min.
● Inovatívny polovodičový detektor lúčov na meranie elektród: 10-krát rýchlejšia odozva ako tradičné riešenia.
● Pohon lineárnym motorom s vysokou rýchlosťou a vysokou presnosťou: rýchlosť skenovania sa v porovnaní s tradičnými riešeniami zvyšuje 3 až 4-krát.
● Vlastné vyvinuté vysokorýchlostné meracie obvody: vzorkovacia frekvencia je až 200 kHz, čo zlepšuje účinnosť a presnosť nanášania povlaku v uzavretej slučke.
● Výpočet straty stenčovacej kapacity: šírka bodu môže byť až 1 mm. Dokáže presne zmerať detailné prvky, ako sú obrysy oblasti stenčovania hrán a škrabance v povlaku elektródy.
Softvérové rozhranie
Prispôsobiteľné zobrazenie hlavného rozhrania meracieho systému
● Určenie plochy preriedenia
● Určenie kapacity
● Určenie škrabancov
Technické parametre
| Položka | Parameter |
| Ochrana pred žiarením | Dávka žiarenia zo vzdialenosti 100 mm od povrchu zariadenia je menšia ako 1 μSV/h |
| Rýchlosť skenovania | Nastaviteľná rýchlosť 0 – 60 m/min |
| Frekvencia vzorkovania | 200 kHz |
| Čas odozvy | <0,1 ms |
| Merací rozsah | 10 – 1 000 g/㎡ |
| Šírka bodu | 1 mm, 3 mm, 6 mm voliteľné |
| Presnosť merania | P/T ≤ 10 %Integrál za 16 sekúnd: ±2σ: ≤±skutočná hodnota × 0,2 ‰ alebo ±0,06 g/㎡; ±3σ: ≤±skutočná hodnota × 0,25 ‰ alebo ±0,08 g/㎡;Integrál za 4 sekundy: ±2σ: ≤±skutočná hodnota × 0,4‰ alebo ±0,12g/㎡; ±3σ: ≤±skutočná hodnota × 0,6‰ alebo ±0,18g/㎡; |
