Integrovaný hrúbkomer a plošný hustomer CDM

Aplikácie

Proces nanášania: online detekcia malých vlastností elektródy; bežné malé vlastnosti elektródy: prázdninové hladovanie (žiadny únik prúdového kolektora, malý rozdiel sivej farby s normálnou plochou nanášania, zlyhanie identifikácie CCD), škrabanec, kontúra hrúbky stenčenej oblasti, detekcia hrúbky AT9 atď.

Pošlite nám e-mail

Detaily produktu

Značky produktov

Princípy merania

Princípy merania povrchovej hustoty

Metóda absorpcie röntgenového/β-lúča

Princípy merania hrúbky

Korelácia a laserová triangulácia

Technické testovacie charakteristiky CDM

Scenár 1: Na povrchu elektródy je 2 mm široká medzera/nedostatok a jedna hrana je hrubšia (modrá čiara, ako je znázornené nižšie). Keď je lúčová škvrna 40 mm, vplyv nameraného tvaru pôvodných údajov (oranžová čiara, ako je znázornené nižšie) vyzerá zreteľne menší.

Scenár 2: profilové dáta oblasti dynamického stenčovania so šírkou dát 0,1 mm

Funkcie softvéru

Technické parametre

Meno	Indexy
Rýchlosť skenovania	0 – 18 m/min
Vzorkovacia frekvencia	Povrchová hustota: 200 kHz; hrúbka: 50 kHz
Rozsah merania povrchovej hustoty	Povrchová hustota: 10~1000 g/m²; hrúbka: 0~3000 μm;
Opakovanie merania presnosť	Povrchová hustota: 16s integrál: ±2σ: ≤±skutočná hodnota * 0,2 ‰ alebo ±0,06 g/m²; ±3σ: ≤±skutočná hodnota * 0,25 ‰ alebo +0,08 g/m²; 4s integrál: ±2σ: ≤±skutočná hodnota * 0,4‰ alebo ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±skutočná hodnota * 0,6 ‰ alebo ±0,18 g/m²;Hrúbka: 10 mm zóna: ±3σ: ≤±0,3μm; 1 mm zóna: ±3σ: ≤±0,5μm; Zóna 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korelácia R2	Povrchová hustota > 99 %; hrúbka > 98 %;
Laserový bod	25*1400μm
Trieda ochrany pred žiarením	Národná bezpečnostná norma GB 18871-2002 (oslobodenie od žiarenia)
Životnosť rádioaktívnych zdroj	β-žiarenie: 10,7 roka (polčas rozpadu Kr85); röntgenové žiarenie: > 5 rokov
Doba odozvy merania	Povrchová hustota < 1 ms; hrúbka < 0,1 ms;
Celkový výkon	<3 kW